μmオーダーの溝を作る

質問

アクリル、アルミなどどのような表面でもかまいませんので
できる限り簡単にμmオーダーの溝を作成するには
どう処理を行えばよいのでしょうか、教えてください。

回答No.1

noname#230359

アルミならばエッチングが簡単だと思います。
ただし、μmオーダーの溝とは深さでしょうか？それとも幅でしょうか？
溝以外を適当な材料でマスキングしてエッチングしますが、深さの場合だとエッチングの時間・温度・濃度とかの反応量をコントロールするだけで可能です。
幅の場合だと、ICの回路作成のようなフォトリソグラフィーの技術が必要になると思います。
紫外線硬化型樹脂を塗布し、回路パターンを写し取ったネガフィルムを縮小投影させて感光し、未感光部分を洗い流して、エッチングします。

補足

解答ありがとうございました。勉強になりました（私は学生です）。
よろしければ、私の研究について聞いていただけないでしょうか。
私の質問の目的を詳しく説明いたしますと、アクリル樹脂（及びアルミ）の表面にμmオーダーの溝（深さ、間隔ともに）を形成させたものを用いてその表面がどのような特性を示すのか考察するものです。溝は乱雑でかまわないのですが、できれば溝の深さも制御したいのです。アドバイスお願いできませんでしょうか。