酸化還元電位と貴金属の挙動

質問

ある本で，溶液の酸化還元電位が大きい（この場合+0.91(V vs NHE)）と，Cuなどの貴金属の金属不純物の除去に効果的，と書いています。詳細な状況は，貴金属で汚染されたウェーハをHF/HCL溶液で処理を行った場合，ウェーハ表面に付着している貴金属の除去に効果的である，とのことです。

回答No.1

nious

Ox + n・e^- ⇔ Red ；E゜＝0.91V

Ag^+ + e^- ⇔ Ag ；E゜＝0.80V
Cu^2+ + 2e^- ⇔ Cu ；E゜＝0.34V (vsSHE)

酸化剤 Ox は Ag 程度迄の貴金属ならば酸化して溶かせる、と言う事ではないですか。おそらく Au や Pt は溶かせないでしょう。