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パイロメーター
パイロメーターについてですが、真空中の基板表面の温度をどのように検出しているのですか。 熱放射を発しているものしか測定できないのでしょうか。教えてください
- wanderfulboy
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- 物理学
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- to---hu--
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回答No.1
真空中の温度でも、大気中の温度でも輝度エネルギーをパイロメーターが見た場合はパイロメーターの素子が電圧を発生します。発生した電圧は増幅して電圧を測定してます。その電圧測定を温度換算して温度を測定してます。 輝度エネルギーとは、基板上でもなんでも温度をもっていれば発生するエネルギー光みたいなものです。 熱放射を発しているものしかに関しては、物体は必ず熱放射（輝度エネルギー）を出してます。（世の中にあるものすべてです。ただ、温度が低い（50℃以下程度）となにもエネルギーを出していないように見えますが出してます。
お礼
ありがとうございました