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熱拡散法の際の不純物の拡散係数:Dに関する質問
教えて!gooを初めて利用するので失礼があったらすいません。私は大学で電気系を学んでいる学生なのですが不純物の拡散係数に関して質問があります。以下のURLの図8-21 Si中の各種元素の拡散係数の図があります。 http://www.rs.tus.ac.jp/a26259/files1/doping.pdf この図にはD[cm^2/sec]と√D[μ/√hr]の二つの単位で拡散係数:Dが表されています。 √D[μ/√hr]のほうから二乗して単位を換算してD[cm^2/sec]に持っていきたいのですが、どうしてもできません。 ぜひ、お力を貸していただけないでしょうか。
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{√D[μ/√hr]}^2={√D[1E-4cm/√(60×60sec)]}^2 =D[(1E-4)^2cm^2/(60×60sec)] =D[2.778E-12 cm^2/sec]
お礼
同じ不純物の拡散係数を表す資料で縦軸が√D[μm/√hr]になっているものを見つけました。 ・・・私が移動度だと思い込んでいたのはマイクロメートルだったんですね。そもそも単位なのにμを移動度だと勘違いして必死に単位換算してた自分が恥ずかしくてたまりません。自分のこんなにくだらない質問に答えてくださって感謝してます。ありがとうございました。