深さ測定器(非接触)

質問

深さを測る簡易的な非接触測定器を探しています。

鏡面にする前のシリコンウェハの表面に幅100ミクロン、深さ100ミクロンの凹型の溝を掘っているのですが、深さを約10ミクロンの精度で計りたいです。

１００万円クラスの測定器でしたらあるようなのですが、求めている精度が１０ミクロン程度なので、安価な装置がないか探しています。

ご存知の方いらっしゃいましたらお願いいたします。

回答No.1

spring135 · ベストアンサー

顕微鏡で覗いて表面でピントを合わせ、次に溝の底でピントを合わせ、このとき表面から鏡筒をどれだけ下げたかをゲージで読み取ることで、溝の深さを測る方法があります。顕微鏡は通常の光学顕微鏡（200倍ぐらい）で十分です。このようなゲージのついた顕微鏡について、精度も含めて、メーカーに聞き合わせるとよいでしょう。

お礼

ご返答いただきましてまことにありがとうございます。
いただきましたご助言、まさに目からうろこが落ちる思いです。
早速各顕微鏡メーカーへ問い合わせさせていただきます。