分圧の計算について

質問

反応性スパッタリングという物に携わっている者なのですが
ArガスとN2ガスの分圧が出せなくて困っています
既知なものは

各ガス流量(ml/min)
真空槽内の全圧(Pa)

単純にガス流量の比で全圧を割るのでしょうか？
気体の状態方程式で算出できるかと思って色々がんばりましたが
これだという答えはでませんでした　頭悪いもので(笑)

どなたかよろしくお願いします

回答No.2

aruberihi

たびたび、追加（＾＾；

ふと思ったのですが

・ガス流量ｘはチャンバー内のガス量に比例する。
・ある気体の分圧はガス量に比例する。

つまり、ガス流量はチャンバー内のガスの分圧に比例する。

単純計算すると

PV=nRT でＴ, Ｖは一定、Ｒは定数
Ｐ＝Ｐ１＋Ｐ２
Ｐ１：Ｐ２＝ｘ１：ｘ２

気体１の分圧は
Ｐ１＝[ｘ１／（ｘ１＋ｘ２）]×Ｐ

となりませんか？

間違えてたら補足してください

回答No.1

aruberihi

ん～、私もスパッタやってました（笑）

ガス流量比をmol比になおすと言う方法もいいと思います。

あとはガスを入れるときに
Arガス　ｘ Pa
を流したあとに（このときの全圧はx Pa）
N2ガス流入させ希望する全圧までもっていく。

当然、

全圧－ｘ＝ｙ

ｙはN2の分圧

となるわけです。

分かったでしょうか？

他にもプラズマの発光を分光させ、ある波長の光の強度を測る装置を用いて（ある元素はある固有波長の発光をすることはご存じと思います）その強度から分圧を求めると言った方法も考えられますが……装置が必要です（笑）

そんなところでしょうか

お礼

おお　スパッタの先輩だ！((泣))
うちにある装置不便なことに分圧を表示しないんです！
ガスを圧でなく流量で示している文献なんてないですよね(笑)

上の説明よくわかりました！　ありがとうございます！

ちなみにマグネトロンスパッタリング法でTiN膜付けてます
スパッタの先輩とは心強いです　また見かけたらアドバイスお願いします！

P.S　補足要求とありましたが何かあったでしょうか？
　　　具体的に言って頂ければ補足します！！