フォトレジストって何ですか？

質問

化学メーカーの営業マンです。
最近「フォトレジスト」という言葉を耳にしますが、「フォトレジスト」とはどういったことなのでしょうか？抽象的な質問で申し分けないのですが、教えてください。

回答No.1

Hiyuki · ベストアンサー

http://www.tok.co.jp/ir/ir_faq-j.htm
http://www.honshuchemical.co.jp/product/
http://www.webjob.co.jp/k_syosai.asp?juchuno=879
この辺をどうぞ。

お礼

ありがとうございました。
とても参考になりました。

回答No.2

hashiman

フォトレジストとはシリコンウエハ上に配線パターンを形成するときに使われます。まずは表面を酸化させたシリコンウエハ上にフォトレジストを形成します。次に、配線を形成したい、つまり溝を作りたい部分のみを紫外線をあてます。そうすると、紫外線があたった部分のみフォトレジストがなくなり、あとはエッチングをすることにより、フォトレジストでカバーされていない部分のみ溝が形成することになります。つまり、フォトレジストとは保護膜みたいな役目をます。

お礼

ありがとうございました。
イメージがわきました。