Mesa Deviceとは何ですか？

質問

ある論文にMesa Deviceというものが出てきたのですがこれってどういうものなのでしょうか？
検索してもよく分からなかったので教えて下さい。
よろしくお願い致します。

回答No.2

rabbit_cat · ベストアンサー

どういう分野の論文の、どういう文脈で登場したのかわかりませんが。
メサというのは、台地のような構造のことです。細長いというイメージは普通はないです。一般的には、皿にあけたプリンみたいな、丸くて、上面の径が下面の径よりも若干小さい形状のことです。

MEMSの世界では、Mesa Deviceというのは、何か特定のデバイスのことを指しているわけではなくて、単にメサ型（台地状）の構造をもったデバイス全般のことを指しています。

一方、メサ型トランジスタのことであるなら、これは、ある決まった構造をとるトランジスタのことです。現在の単体のトランジスタはプレーナ型といわれるものですが、その昔は、メサ型というのが主流でした。電極の形ではなくて、トランジスタ自体がメサの形をしています。拡散を繰り返してトランジスタを完成させた後に、必要なところだけ円形にマスクして他をエッチングするので、メサ構造ができます。
メサ型トランジスタは劣化しやすいんですが、プレーナー型に比べて寄生容量が格段に小さいという利点があります。最近は、特定の型番のメサ型トランジスタ（とっくに生産中止）がオーディオマニアの間で、ものすごい高値で取引されたりしています。

回答No.1

sanori

こんばんは。

こちらを見ると、
http://www.ece.uci.edu/~rnelson/UG2002/Progress-Report-Mesa-Device-W03.pdf
シリコンウェハの表面を削って長細い形状をつくり、
それをガラス基板に転写したもの（貼り付けたもの）を mesa と言っているようです。

こちらの「その他」の項を見ると、
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%A1%E3%82%B5
「台形の形に整形したトランジスタ」とありますが、
これは明らかに、長細いゲート電極のことを指しています。

というわけで、
上部が平らな、細長いパターンのことを「Mesa Device」と言っているようです。

以上、ご参考になりましたら。