真空ポンプなどについて
私の扱っている装置の試料交換室は
ロータリーポンプとターボ分子ポンプで真空を引いています。
たまにロータリーから白煙があがるので、一度ロータリーを停止したいと思っています。
ロータリーを停止する方法がよくわからないので教えて頂きたいのですが。
ちなみに、交換室とターボ分子ポンプの間にバルブ(1)が、
ターボ分子ポンプとバルブ(1)の間にArの線が、
ターボ分子ポンプに直接？N2の線が、
ターボ分子ポンプとロータリーの間にバルブ(2)があります。
またロータリーの排気口から外部へ通じており、その間には
isolation blockというものがあります。
isolation blockとは何なのでしょうか？
この場合、ターボを停止させるにはロータリーも
停止させないとだめですよね？
そのときの手順も教えていただきたいのですが。。。
あまり真空に関して詳しくありませんので、
つまらない質問ばかりすると思いますが
これからもよろしくお願いいたします。
お礼
非常にわかりやすい回答でした。 ありがとうございました。