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シリコン基板と石英基板の違い???
シリコン基板と石英基板(溶融石英?)の違いって何でしょうか?? 性質とか特性とかについて教えてください! できれば参考書籍やwebも教えてくださいm(_ _)m
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- walkingdic
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回答No.1
シリコン基板とは、原子Siの結晶です。 石英とはSiO2というSiの酸化化合物のことです。 それが違いです。具体的な物性の違いは上記それぞれの違いを見てください。