きれいなアルミの蒸着方法は？

質問

金などの金属の蒸着に関しては、基板を温める方がよいとありますが、アルミに関しては逆に暖めてはならないという記述が見受けられます。なぜなのかと共に、アルミをきれいに蒸着する他の方法を教えていただけませんか？お願いします。

回答No.1

yonesuke35

きれいなアルミの蒸着方法との事ですね。
対象物の洗浄及び高温乾燥をきっちりすることかな。
真空度も－５乗Pa以下にすること。
蒸着後200度程度まであろいんぐのようなことを行えばさらに
いいと思います。　それでも不満でしたらナノていどチタンを先行蒸着
が可能でしたらしてみるといいかと思います。
思考錯誤？でやってみたらどうでしょう。

お礼

回答ありがとうございます。
アロイングとは加熱することですか？
そうですね、Crをつけたことはありますけれど、まあまあよくなりました。色々試行錯誤していきます。