XeF2とステンレスの反応について

質問

現在，ステンレス製チャンバーにXeF2ガスを導入して，Siのドライエッチング実験を行っています．その際，XeF2とチャンバーのステンレスが反応して気体を発生させているようなのです．この反応がどういった反応であるのかよくわかりません．

そこで，XeF2とステンレスによって発生する化学反応の化学反応式を教えていただけないでしょうか．

よろしくお願いします．

回答No.1

noname#156442

XeF2から分解したHFが、SUSと腐食生成物を形成しているだけではないでしょうか？