微細形状の計測手段について
現在、光の干渉を利用した微小段差計測手法の開発といった内容の研究をしているのですが、計測サンプルの実際の寸法が自分で確認できずに手法の評価に困っています。
サンプルを提供していただいたところからの寸法データはあるのですが、計測方法は明確にしていただけませんでした。
具体的にはエッジ形状の計測を行っていまして、エッジの傾き角の確認をしたいと考えています。
サンプル仕様では約70°程度の傾きがあるとのことですが、所有のAFM、白色走査顕微鏡で計測してもその半分ぐらいの角度が算出されてしまいます。
もしこのような場合に適した高精度計測方法および機器をご存知でしたら、ぜひご助言をお願いいたします。
お礼
ご回答ありがとうございます!