微細形状の計測手段について

質問

現在、光の干渉を利用した微小段差計測手法の開発といった内容の研究をしているのですが、計測サンプルの実際の寸法が自分で確認できずに手法の評価に困っています。
サンプルを提供していただいたところからの寸法データはあるのですが、計測方法は明確にしていただけませんでした。
具体的にはエッジ形状の計測を行っていまして、エッジの傾き角の確認をしたいと考えています。
サンプル仕様では約70°程度の傾きがあるとのことですが、所有のAFM、白色走査顕微鏡で計測してもその半分ぐらいの角度が算出されてしまいます。
もしこのような場合に適した高精度計測方法および機器をご存知でしたら、ぜひご助言をお願いいたします。

回答No.1

Massy57 · ベストアンサー

サンプルの材質、また段差の寸法が開示されていませんので（微小寸法の実測方法はたくさんありますね）、ご回答できませんが、たしかに鋭角のエッジの角度を触針法で測定は出来ませんよね。
半導体などでは、サイドエッチのためによくこのような段差ができますが通常は断面からSEMで観察します。劈開面で観察するわけですから、段差との角度も正確に押さえられるため、精度に問題はありません。エッジが劈開によって破損されそうなら、樹脂にサンプルを埋め込んで、研磨すれがいいだけですよね。サンプルの材料次第ですが。

お礼

ご回答ありがとうございます。
サンプル材質の開示に関しては当然しておくべきでした。すみません。
質問しておいて申し訳ありませんが、今手元にあるもので透明高分子材料であるとしか開示できません。
なのであまり光でエッジの細かい測定などを行うには適してはいない（もしかしたら無理かもしれません）のですが、今はこれだけなので。

ご回答いただきました断面SEM観察は非常に精度よく測れそうで大変参考になりました。こういった分野では常套手段なのでしょうか。
ただ、サンプルが破壊されることは極力避けたいという状況でもありまして、できればAFMレベルの引っかき程度で済ませたいと考えています。
とはいえ本当に良さそうな測定法なので最終的にはこの方法を使わせていただこうと思います。