シリコン基板に酸化亜鉛膜の生成したいのですが

2007/05/14 11:36

　酸化亜鉛は基盤に対して垂直の柱状に成長させる事が可能との事なので、Si基板上にその様な膜を作りたいのです。（イメージとしては毛の短いブラシの様な）　何かノウハウはあるでしょうか。

みんなの回答

2009/08/11 11:49 回答No.3

ブラシのようなものなら、以下のサイトにあります

2007/05/14 22:45 回答No.2

垂直の柱状にするには乾式だとなかなか難しいように思います。アモルファス状になってしまうような気がします。やったことがないのでなんとも言えないのですが… 液相法は装置も簡単なので参考にしてみる価値はあると思いますよ。

2007/05/14 19:09 回答No.1

ＬＰＥ法やＬＰＤ法など結晶成長がしやすい液相法でチャレンジしてみてはどうでしょうか。 LPE…Liquid Phase Epitaxial LPD…Liquid Phase Diposition

質問者

ありがとうございます。乾式製膜法では無理ですか？設備的にそちらの方が整っているのですが、スパッタなどではどうでしょう。