極端紫外域(EUV)での反射率測定法。

質問

タイトルの通りなのですが、たとえばミラーの10nm～20nmまでの分光特性を知りたい場合どのような方法を用いれば測定が可能でしょうか？
グレーティングを用いた測定器などでは200nm程度が限界だと思うのですがどうなのでしょうか。
よろしくお願いします。

回答No.2

walkingdic · ベストアンサー

>具体的にはどの様な機器を用いて測定するのでしょうか？
特に通常の分光器と大きく違うわけではありません。ただ光源と受光素子の部分は異なりますけど。

>専用の分光器が一般的に出回っているのでしょうか。
一般的というほどでもありませんが、一応作ってくれるところがないわけではありません。
Acton research とか。

お礼

なるほど。
ありがとうございました！

回答No.1

walkingdic

EUV spectroscopy です。
グレーティングは使えますよ。（もちろんＥＵＶ用ですけど）

ＦＴ分光器という方法もありますけど。

お礼

ありがとうございます！
EUV spectroscopyでは具体的にはどの様な機器を用いて測定するのでしょうか？専用の分光器が一般的に出回っているのでしょうか。
重ね重ね質問すみません。