10年ぐらい前まで水処理プラント会社で営業していた者です。
技術は日進月歩なので今のグレードはわかりませんが、私は営業的に以下のような感じにしていました。
システム１．脱塩水…前処理＋ＲＯ（逆浸透装置） 比抵抗…というよりこのグレードだと電気伝導率で表現していました。
原水とＲＯの回収率などにもよりますが、5～20μS・cm程度（一般的な定義的に純水には入りません） これだけではメーカーも基本的に純度保証はしません。
システム２．前処理＋モノベット（混床）再生式イオン交換 又は 前述のシステム１＋カートリッジ式(又は再生式)MBイオン交換
通常このシステムで1～10MΩ出ます。
保証値は１MΩ程度ですが基本的にはメーカーとして純度保証が入ります。
システム３． システム２プラスポリッシャー（高品質のカートリッジ式イオン交換）プラスUV殺菌プラスＵＦ
このあたりで17M～18MΩ程度になりますので、純度で言えば「超純水」のレベルになってきます。
あとはポリッシャーを２段（アニオンポリッシャー＋モノベットポッシャーなど）にしたりすれば18MΩ保証といったところです。
純度が高くなると、そのままタンクに溜めておくと密閉式でもCOなどが溶け込んたりして純度が落ちるのでタンクに窒素ガスを充填し、水が貯留しないようにループ状配管にして常時UV＋ポリッシャーがかかるようにします。
このあたりまでシビアな要求になってくると、微粒子・シリカ・TOC・DO（溶存酸素）・生菌など…純度以外の要求が重要になってくるので、その要求によってシステムが変わります。
