シリコーンゴムと純水

質問

純水は理論純水に近いほどその溶解力が高くなると思います。
また、シリコーンゴムの主骨格は、シロキサン結合であり、炭素結合よりも高いエネルギーで結びついており安定したものであると思います。
しかしながら、純水を使用する生産ラインに使用しているシリコーンゴム製のＯリングが加水分解の様な症状を呈し、劣化してしまいました。このラインでは常圧及び加圧のスチームは一切使用していません。調べてみるとシリコーンゴムが純水に溶解されることがある、との情報を得ました。が、先述の通りシリコーン樹脂は、比較的安定した構造をしているはずなのに・・・、それを超える溶解力を純水（レベルによると思いますが）は持っているものでしょうか？または、シロキサン結合部分ではなく有機基の部分を選択的に溶解し、劣化を生じさせているのでしょうか？

宜しくご教示お願い致します。

回答No.1

noname#230359

半導体の洗浄装置も手がけているメカニカルエンジニアです。

化け学屋でないので、メカニズムは判りませんが、シリコン単結晶ウエハも

極微量ですが純粋にエッチングされます。

酸やアルカリのエッチング反応と同様で、純粋が不導体である電荷で起こる

現象と聞いた事があります。

以上の内容で、ネット検索等を行い原理の調査をお願いします。