クリーンベンチを開けるときの変なにおい

質問

クリーンベンチをあけようとしたとき変なにおいがします。ガス漏れだという人もいるのですが、どうも違う気がします。そこで質問なんですが、クリーンベンチ内でオゾンは発生するのでしょうか？クリーンベンチを使用していないときはUVをつけています。たしかオゾンはUVでも発生したような気がします。もしわかる方がいましたら、お答えください。よろしくお願いします。

回答No.1

myeyesonly · ベストアンサー

こんにちは。
その通りです。

また、近頃はオゾンの発生効率を高めてオゾン殺菌も行う、オゾン殺菌灯が多用されてるようなので、匂いが強いようならこれでしょう。

参考URL：

http://www.m-n-w.com/marionetworks_g_holder/y_ol.htm