RF真空プラズマにおけるアースの役目
初めて質問させて頂きます。
初心者なので分かりづらいかもしれませんがご容赦ください。
タイトルのままですが、RFを利用した真空プラズマのアース(アノード)の役目とは何でしょうか。
カソードは、「ブロッキングコンデンサで電子が充電されて-VDC(バイアス)となるため陽イオンが引っ張られる。」ということで理解しているのですが、例えばRFが印加されている電極のみをガラス製の(アースのない)真空チャンバー内に入れたとすると電力とチャンバーの大きさと真空度によるかと思いますが、条件が合えばおそらく放電する(プラズマが生成される)かと思っております。(アースがなくとも電子の移動は起こるため)
こうなるとアノードの役割とは?とわからなくなって調べてもいまいち核心的な論文なども見当たらず質問してしまいました。
なんとなくのイメージでアノードは電子の供給源となっており、上記の構成では電子が供給されなくて低密度なプラズマになりそうと思っているのですが、当方電気に詳しくなく電界がどうとか全くわかっていないので、そんな人間にもわかるように教えていただけますと幸いです。
ちなみに当方はプラズマとは全く関係ない仕事なので、特に仕事で利用するわけではなく、なんとなくプラズマについて調べていたら気になったので質問させていただきました。
よろしくお願いいたします。