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マスクの作製について

フォトリソグラフィのための、マスク(7μm周期)を作りたいのですが どのようにして作るものかよくわかりません。 作製法を知っている方、教えてください。

みんなの回答

  • ykkw_2001
  • ベストアンサー率26% (267/1014)
回答No.1

作製法は知りませんが・・ http://www.jaist.ac.jp/~shingi/kiban.html # 自分で作ろうとしているのですか!!?

参考URL:
http://www.google.com/search?q=%83t%83H%83g%83%8A%83%5C%83O%83%89%83t%83B+%83%7
take77
質問者

お礼

回答ありがとうございます。 一応考えとしては35mm四方に7μm周期のものを 作るとして、約2500本の線を引きそれをカメラで 撮影して、そのネガをもちいてなんとかしようとは思っていますが、 これでうまくいくのかがわかりません。 ほかのいい方法があればと思って、質問しました。

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