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マスクの作製について
フォトリソグラフィのための、マスク(7μm周期)を作りたいのですが どのようにして作るものかよくわかりません。 作製法を知っている方、教えてください。
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- ykkw_2001
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回答No.1
作製法は知りませんが・・ http://www.jaist.ac.jp/~shingi/kiban.html # 自分で作ろうとしているのですか!!?
フォトリソグラフィのための、マスク(7μm周期)を作りたいのですが どのようにして作るものかよくわかりません。 作製法を知っている方、教えてください。
作製法は知りませんが・・ http://www.jaist.ac.jp/~shingi/kiban.html # 自分で作ろうとしているのですか!!?
お礼
回答ありがとうございます。 一応考えとしては35mm四方に7μm周期のものを 作るとして、約2500本の線を引きそれをカメラで 撮影して、そのネガをもちいてなんとかしようとは思っていますが、 これでうまくいくのかがわかりません。 ほかのいい方法があればと思って、質問しました。