フォトマスクのCADって何が有名なの？

質問

フォトマスクの設計をしている者です。
現在、T社さんのCADを使ってT社さんへマスクを発注しています。しかし、汎用性のあるDXFなどのファイルで発注できるように移行していくことを検討しています。そこで、フォトマスク作製（0.01μｍ単位）によく使われる。CADをご紹介願えませんでしょうか？その根拠あげていただけると助かります。
よろしくお願いいたします

回答No.1

noname#230359

フォトマスクの設計にどんなCADが良く使われているかは知りませんが
大抵はdxfで渡せるようなので入手しやすい2D-CADでくせの無いdxfを出力出来ればいいと思います。
ただし、精度が必要ですから16桁倍精度が選択のポイントになりそうですね。

フリーでもありそうですが、市販汎用CADではAutoCAD LTで十分だと思います。
理由は、シェア：大、精度：16桁倍精度、dxf：本家と言うことですが
互換性、コストを優先すればインテリCAD等でも十分です。
他にも迷うほどたくさんあると思います。

ガーバーデータでの出力でも良いのかも知れませんが精度について良く知りません。

業界の方はいないのでしょうか？＞フォローよろしく！

お礼

インテリCADという選択はコストの面からみていい気がしました。大変参考になります。ありがとうございました。