残留イオンについて

質問

クリーンルーム内で使用するクリーンスーツ、ワイパーは、クリーン洗浄するそうですが、その際、
クリーン度の目安として、発塵量、残留イオン濃度が
あげられていますが、残留イオン濃度の意味が分かりません。なぜクリーン度の目安とするのかもわかりません。
どなたか分かる方がいらっしゃいましたら、
教えて下さい。
化学は、全くの素人なもので、、、

回答No.1

noname#21649

何の「クリーンルーム」かによって多少異なります。
半導体の場合には.ナトリウム・カリウム含有ふゆうじんが大きな問題になり.結果として.これら成分を検査の対象とします。

お礼

早速のご回答、誠に有難う御座いました。
半導体のクラス１０で使用するワイパー（ポリエステル）の溶出物が対象でした。
ご説明頂いて、理解するキッカケが出来ました。
誠に有難う御座いました。