干渉縞による膜厚測定

質問

薄膜の膜厚を見積もりたいのですが、
できた膜の干渉縞からおおざっぱな膜厚が見積もれるはずだったと思うのですが、どのような方法だったでしょうか？
ちなみに、膜の屈折率は約２.４です。
他にどの数値があれば見積もられるかも、わかっておりませんので、必要な値なんかも教えていただきたいです。

回答No.1

jimi0813 · ベストアンサー

干渉縞が出来るような膜と言うことなので、
膜厚の"分布"を調べる方法ではないでしょうか？
もちろん膜厚の程度が分かっていなければダメですし、絶対値の参考にもなります。

透明膜の光路（膜厚×屈折率）＝整数×波長/４で干渉します。

膜の干渉縞が赤→青に変わっていたら整数＝1として、

膜厚＝１×700nm／４／２．４＝70nm
と
膜厚＝１×450nm／４／２．４＝50nm

より、およそ４０％の膜厚分布があることが分かります。
エピ膜でなければ屈折率も変化しますので、素直に触針幕厚計やエリプソなどの使用をお勧めいたします。