パルスレーザー堆積法

質問

今度大学の研究で、パルスレーザー堆積法を用いてガラスに色のついた薄膜を成形したいと考えてます。何か良いターゲットとか知りませんか？予想でもいいし、アドバイスでも嬉しいので、ぜひ教えて下さい。一応、赤、青、緑が目標です。宜しくお願いします。

回答No.1

apple-man · ベストアンサー

酸化チタンの薄膜は微妙な虹色が出せるんで有名です。
透過光ではなく、反射光で色を出せれば
いいのなら、酸化チタンに格子定数の近い
金属薄膜を先につけておいて、その上に
酸化チタンをつければいいと思います。

　通常はビルのネームプレート
みたいに、金属の上に酸化チタンの
薄膜を作って、微妙な色あいを
出すのに使います。

回答No.3

jimi0813

PLD現役生です。
先ず質問者様へ
色々ありすぎて検討がつきません。　
PLDということはエピ狙いだと思うので
Ferroelectrics Volume 75, Issue 1-2 , 1987, Pages 25-55
とか
Applied Surface Science Volume 193, Issues 1-4 , 5 June 2002, Pages 287-292
とかがいいんですかねぇ？

そして回答者様へ
（１)コンベックスかTUIが流行りでしょうか？応用物理学会ではその２つが出ていました。
（２）KrFエキシマか、ArFエキシマがメインですね。変わり種ではNd:YAGの三倍波なんてのもあります。変調可能なものは少ないと思います。
（３）？？？多分誰も気にせずプラズマと言っているのですが…荷電状態ですし。。。歴史的な経緯には疎くて申し訳ございません。

参考URL：

http://www.orc.soton.ac.uk/bulletin/news4-1/bull41g.html

回答No.2

apple-man

すいません　Ｎｏ１の回答した者です。

ついでなんで、興味本位の逆質問なんですが、
差し支えなかったら、使われている
レーザー光源について教えて下さい。

１）メーカーはどこのをお使いですか
２）ガスレーザーだと思いますが、
　　使っている気体の種類、波長は？　
　　波長は可変可能でしょうか？
３）プルームの状態については、プラズマ
　　であると証明されたのでしょうか？
　　それとも全く別の状態？クラスターとの
　　混合状態？

　今は薄膜作成とは全く関係ないこと
してるんで、別にノウハウを盗もうして
いるんじゃないんです。
　パルスレーザー・ディポジション自体についての
私の知識は１９８０年代のものなんで、最近の
状況についてちょっと興味が湧いたもので。

因みに私が学生だったころ、隣の研究グループが
持っていたレーザー光源は
浜松フォトにクスのと、ドイツのZeitPhyzikで
アルゴン・フッソを使っていました。

プルームの状態については、プラズマ類似のもの
だということで詳しいことは分かっていなかった
んです。

　一日中パチパチ音を出していたのが印象
的でした。