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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：【CMOS】ショートチャネル効果について教えて下さ）
【CMOS】ショートチャネル効果について教えて下さ
このQ&Aのポイント
- CMOSプロセス関連でのショートチャネル効果について教えてください。
- ショートチャネル効果は、半導体のCMOSプロセスにおいて重要な現象です。
- 詳細な内容はネット検索で見つかりませんでしたが、ショートチャネル効果はデバイスの性能に影響を与える可能性があります。
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参考URLの資料によれば、短チャネル効果について次の説明があります。 短チャネル効果とは、MOS FETのゲート長を微細化したときに生じる現象である＊2）。この現象によって、トランジスタのしきい値電圧（Vth）が小さくなって、「サブスレッショルド・リーク」と呼ぶ漏れ電流が増大し、トランジスタの性能を表す指標である「Sファクタ」＊3）が大きくなるなどの悪影響を生む。 ＊2）チャネル長が短くなると、チャネル部のキャリアは、ゲート電圧だけではなく、ソースとドレインの空乏層の影響を受けてしまう。チャネル長が極端に短くなると、ソースとドレインの空乏層がつながってしまい、常時ドレイン電流が流れる。このような状態を「パンチスルー」と呼び、もはやゲート電圧によってドレイン電流を制御できなくなる。
お礼
ありがとうございました。 大変参考になりました。