• 締切済み

ポリコールドラインの処理について

真空蒸着機にポリコールドを設置する場合、ポリコールドからの低温の銅パイプ を機械に穴開けて通す訳ですが、機械と銅パイプとの断熱と真空漏れを防ぐ処理方法はどのような方法が有りますでしょうか? 真空用部品メーカーさんで簡単に処理を行える部品等の情報が有りましたらお教えください。

みんなの回答

noname#230359
noname#230359
回答No.3

現在蒸着機が2台ありまして、1台がポリコールド付き、もう一台がポリコールド無しなのですが、有の方のポリコールドが故障した為丸ごと交換しました。 故障したポリコールドの修理が出来た為、手持ちで1台ポリコールドが遊んでいる状況のなので、無しの方にもポリコールドをつけてみたいと考えています。

noname#230359
noname#230359
回答No.2

参考URLの図1を参照すると、クライオコイルは、真空槽と主バルブの間 に設けられることがわかります。 クライオコイルを後付するのであれば、この部分全体を「部品」として 交換するのであって、冷媒パイプ(銅パイプ)の断熱及び真空封止を ユーザーが心配する必要は無さそうに思いますが、お問い合わせの 状況は如何でしょうか? 真空装置、又はクライオコイル(低温冷却装置)のメーカーに問い合わせ ることがよさそうに思います。 修理交換をご覧になっていたのであれば、勘どころは、私よりもよく把握 できていらっしゃると思います。 また、現物がお手元にあるのですから、構造は具体的にわかる筈。 相談するのであれば、修理交換を行ったメーカーが適切と思います。

参考URL:
https://www.shinmaywa.co.jp/vac/skill/pdf/technical-no29_vac.pdf#search=%27%E3%82%AF%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%AA%E3%82%B3
noname#230359
noname#230359
回答No.1

ポリコールド装置 http://www.hakuto-vacuum.jp/helix_polycold/index.php https://www.shinmaywa.co.jp/vac/products/products_4_1.html そもそもですが ポリコールドが付いてない真空蒸着装置に後付けしたいのでしょうか? それとも真空蒸着装置をイチから作りたいのでしょうか?

関連するQ&A