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石英とPEEK材の比較
- 石英とPEEK材の特性や比較についてご説明ください。
- 石英とPEEK材の利点、欠点、切削加工性、導電性、比重などの違いを教えてください。
- 石英トレイの接合方法や、PEEK材を検討する際の固定方法についてご教示ください。
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シリコンウエハのキャリア（カセット）と推測します。 先ず、石英は半導体グレード（不純物を極力抑えた）の石英ガラスです。 製作方法は、ガラス細工と略同じで、 Ａ）規定の径と長さの丸棒を製作します Ｂ）丸棒をバナー等で溶かし、溶着しキャリアを製作します Ｃ）最後に、研削機で溝を加工します 石英ガラスは硬いので、研削で加工します また、加工の際に破損が発生する確率が高いので、その分を考慮して納期設定があります 次に、ＰＥＥＫですが、樹脂なので原材料の中央部分を使用し、経時変化等を抑制します。 そして、製作方法は、石英ガラス略同じで、 ア）規定の径と長さの丸棒を製作します イ）ねじ加工やねじ穴加工を行い、丸棒を仮組立します ウ）丸棒を溶接しキャリアを製作します ねじは座ぐりをし、ねじ固定の後、栓をして溶接するので外部からは判りません 丸棒の継ぎ目やねじの座面等に洗浄液が浸透し、残る事は無いようにの配慮です エ）最後に、溝を加工します 最後に、石英ガラス ⇒ ＰＥＥＫへの変更点で考慮するべき内容は、 ? 石英ガラス製は重くて、欠け等の破損に取扱の配慮が必要ですが、 ＰＥＥＫは、それらの配慮があまり必要ありません ? 線膨張係数が、石英ガラスはステンレス鋼の約1/10、ＰＥＥＫ等の樹脂はステンレス鋼 の約10倍なので、温度変化がある洗浄等には配慮が必要です ? 石英ガラスは耐薬品性の関係で、特にＨＦ系の洗浄には適しませんが、 ＰＥＥＫは確か硝酸に対して特に弱かったと記憶しています 詳細は耐薬品性を確認して使用して下さい また、ＰＥＥＫ製のキャリアは製作した事がありますが、その時は ＊ 八十島プロシード株式会社 ＊ 三井化学株式会社（PEEKから撤退したと聞いています…） にお世話になりました。
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評価の対象は製作上と取扱い上の問題および耐薬品性と耐久性だと思いま す。前者は機械的物性に関与し，後者は耐薬品性や劣化耐性だと思います。 他の回答者の方々の提示にあわせて下記参照下さい。
お礼
有難うございました。
文中から察するに 石英→石英ガラス 製品名称→ウエハーキャリア だと思います（ハズレなら以下の雑文は無しということで） これで調べれば、既に多くの既製品が出回っており、PEEK樹脂製品も多いです。これがネット通販で簡単に入手出来る。逆に製造メーカを辿るのが面倒なぐらいです。 また、石英→PEEK樹脂への置き換え事例も登場してきます。 このような背景下で、PEEK樹脂製品を製造するには、 ・技術的にかなり異なる分野 ・機械設備、金型費用など多額の設備投資が必要。 など障壁があります。 後者は外注を活用すれば軽減できるが、そもそも今更やる価値有るか？ 得意先の販売ルートという財産を活かして製造元との間に入るだけの方がよいのではないか・・・と思いますが・・・
お礼
有難うございました。大変参考になりました。
お礼
有難うございました。大変参考になりました。 私も八十島に問い合わせようとした所でした。