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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:ウェハーサイズUPによる対応について)
ウェハーインチUPに伴う後半工程の装置対応について
このQ&Aのポイント
- デバイス生産の後半工程において、ウェハーインチUPが行われることがあります。
- ウェハーサイズの変更に伴い、後半工程の装置も対応が必要となります。
- 同様のケースを経験した方からの情報を求めています。
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noname#230359
回答No.1
このご質問では何に困っていて何を知りたいのかが読み取れません。 そのため回答される方がいないのではないでしょうか? もっと具体的にご質問された方がよろしいかと思います。