プラズマ窒化処理の表面の割れ対策を教えてください

質問

SUS410Aの表面硬度を上げる為、プラズマ窒化処理を行っているのですが、表面に丸い斑点が出来てしまいます。大きさは、30*18*3ｍｍです。断面を切ってみると表面と平行に割れが入って盛り上がった跡が斑点のように見えていました。全数そうなるのではなく、不良率は、50％程度になっています。リークも確認しましたが問題ありませんでした。表面の洗浄を念入りにしても、原因が全く分からず困っています。何か原因と考えられることがあればご教示いただけませんでしょうか。

回答No.2

noname#230359

経緯は、小生も専門家でないので、不明ですが、諸問題が発生するので
色々な手法を使分けているのではないでしょうか？以下は参考です。
http://www.taihei-s.com/seihin7.htm
http://www.citizen.co.jp/dlc/ip.html
http://www.techplaza.city.higashiosaka.osaka.jp/word/field/dry_plating.html

お礼

ご回答ありがとうございました。出来れば、現在の装置で窒化を行いたいのですが、どうしても無理であれば、イオンプレーティング、蒸着等他の手段も考えないといけないかもしれないですね。

回答No.1

noname#230359

以下の処理ですか？
http://www.asahi-nets.com/technology/img/ion/title_ion.gif

なんとも云えませんが、
＊ SUS410Aは、硬化処理をしていて、表面等の内部応力が著しい
＊ 反応ガスが水素（H2）なら、脆性を考慮する必要がある
等々を、県等の工業試験所に問い合わせてみて下さい。

そこから、大学等の大家を紹介してくれるかもしれません。
この森調査と併行して、行なってみて下さい。
<装置製作メーカーも、多少情報を持っているかもしれません>

お礼

早速のご回答ありがとうございました。
そうですね。H2も入っているので、H2脆化も考えられますね。
一度、工業試験所に問い合わせてみます。