ﾏｽﾌﾛﾒｰﾀｰを使用した漏洩検査方法について

質問

いつもは意見させていただいております。
現在、工場での漏洩検査は圧力降下と目視により合否判定していますが、作業者によるバラツキが多分にあり、また、検査環境が悪いために熱膨張により、ワーク内の圧力が上昇する現象が発生しており、個人的な意見として漏洩した質量or容量を計測すべきだと考えています。
そこでいろいろ調べた結果、マスフロメータで漏洩検査ができそうなのですが、具体的な事例又は参考になるサイト等があればご教示をお願いします。

回答No.4

noname#230359

マスフローの場合、温度による計測値のバラツキは少ないと思いますが、マスフロー流量計の基本原理は直接ワークの漏れを計測することではなく、ワーク洩れによる一次側エアの流れを計測する為、計測精度は一次側のレギュレター性能に大きく影響されます。微小漏れの場合、決していいとはいえません。
圧力降下式では正しく計測不可能の場合、差圧式の方はどうでしょうか。ワークとマスタ両方に同じテスト圧を充填する為、熱膨張による内圧変化を相殺する事により、多くの場合正しい計測結果を得られるはずと思いますが

回答No.3

noname#230359

電磁弁のリークテストにマスフローメータは大量に使われています。
マスフローメーカ：エステックなど
流量：1cc/MIN（ゴムシール部）100cc/min(メタルシール部）
許容漏れ量がこの程度なら、マスフローは適切です。

回答No.2

noname#230359

最近エアー式漏れ試験器で、環境変化にも対応できる製品が開発されています。マスフローセンサを漏れ試験に活用したもので、昨年ビックサイトで開催された真空展で見つけました。試験方法も従来の差圧式のものではなく、質量変化で捉えていますし、ヘリウムリークディテクタと同じように、モニターを通して漏れを継続的に測定できます。差圧式の大きな欠点は、断片的な測定になってしまい、もし測定時に環境変化があった場合、誤ったままの測定になってしまうことです。漏れの状態や量を確認することもできません。また、マスターワークの管理も大変となります。このようなことから、バラツキも当然多くなってしまいます。
同器は、エアーリークディテクタと呼ばれていますが、温度補正対策もできていて、精度も高く、安定した測定が可能といえます。ただ、測定時間（タクト）の面で、差圧式のような断片的な測定ではないので、多少時間がかかることです。
この情報は、http://www.sastem.co.jp/ で確認することができます。

参考URL：

http://www.sastem.co.jp/

回答No.1

noname#230359

マスフローメーターでの漏洩検査というのは
私はちょっと聞いたことがございません。。。。

マスフローで漏洩検査となると、mL/minという単位と想像しますので、
私が取り扱っているものと比較するとかなりの漏れ量です。

被検査対象品がバルブの弁座漏洩検査なら、マスフローで
みることも可能と思いますが、気密検査はちょっとやそっとでは
できないと思います。

>>漏洩した質量or容量を計測すべきだと考えています。
同意致しますが、どちらかというと、漏れ量が少ない場合、
漏れの判断が困難であることから、
計測する方が適している場合が多いと考えます。
（例えばHeリークディテクター 等）

漏れ量が多い場合、被検査品がどんなものかわかりませんが、
断熱して温度が上がらないようにし、
圧力センサーで圧力変化をプロット（もしくは取り込む）、
やっぱり圧力ダウンを見るほうが簡単な気がします。

雑談みたいになって誠に恐縮です。

私共は金属加工品を取り扱ってます。
検査方法はさまざまあり、被検査品の大きさと仕様によって、
・水没
・スヌープ（発泡）
・加圧放置（ゲージダウン）
・真空（Heリーク）
を使用しています。

リークテスターとリークディテクターの違いというのは言葉の定義
かと思うので、、、、、自信はありませんが、
個人的な意見としては、リークテスターが広義のもので、
そのなかにリークディテクターが含まれると捉えます。

Heを使用しているのは、原子半径が小さいので微小な隙間を通りやすい、
大気中にほとんど存在しないもの、ということで高感度に漏れを
検出できる為、広く使われております。

被検査品に樹脂が多く含まれる場合、Heが樹脂を透過しやすいため、
高感度なリーク試験には向きません。

尚、ゲージダウンの検査では圧力の他に温度も測定し、
温度変化に対して圧力の補正を自動で行うものもあります。
温度変化が短時間で、大きい場合は向かないかと思います。

お礼

ご教示、ありがとうございます。
検査環境の改善は現状ではちょっと難しいので、圧力センサは難しいですね。ミリアルドさんのところでは、どのような機材でどのように検査を実施しているのでしょうか。支障の無い範囲でご教示いただければ、幸いです。また、Heリークディテクターとの記載がありましたがリークテスターとはどのように違うのでしょうか。また、なぜHeを使用するのかについてもお聞かせいただけたら幸いです。お礼が再質問になり、申しわけございません。