フッ素ラジカル雰囲気での軸受検討についてお教え下…

質問

フッ素ラジカル雰囲気での軸受検討についてお教え下さい。

初めまして。
私は軸受商社の営業マンです。故に理系の知識がありません。
もしかすると見当違いの質問かもしれませんがお教え頂きたく
お願い致します。

私のお客様からの検討依頼で幾つかのことが判らず困って
おります。以下にて記しますのでどなたかご教授お願い致します。

１．質問内容
　　?フッ素ラジカル雰囲気下で使用できる軸受の素材を
　　　お教え下さい。
　　?同様の条件下で使用できる潤滑（オイル・グリスなど）を
　　　お教え下さい。

２．使用の詳細
　　上記の条件についてはある装置の検討に関するものです。
　　装置の概要は
　　?槽にフッ素（20％以内）と窒素の混合ガスを引き込む
　　　　　　　　　　　　↓
　　?フッ素ラジカルの状態にて表面改質を行う
　　　　　　　　　　　　↓
　　?残留ガスを安全に排気する
　　とのことです。

３．私自身が知り得ている情報
　　インターネットにはそのような装置はある様に思いますが、
　　その仕様は私には良く判りません。
　　私の知る限り、フッ素ラジカルは一般的な鋼材では適性が
　　あるものが無く、攻撃されてしまうと聞きました。
　　ニッケルやテフロンが素材としては有効だと聞いています。
　　（これも確認ができていません）
　　加えて、フッ素グリスなどは使用できないと聞いています。
　　（フッ素に向かって反応しようとするからでしょうか）
　　今回はどうしても軸受をフッ素ガス（フッ素ラジカル）中
　　に使用せねばなりません。
　　こうした類似の案件でも構いませんので情報をお願い致します。

以上になります。

宜しくお願い致します。

回答No.1

noname#230359

高濃度のフッ素ラジカルにまともに耐える材料は無いでしょう。真空ポンプ等では窒素等でパージしながら使うのが常套手段です。真空に引く部屋と軸受を取り付ける部屋を区切っておいて軸受側にN2を導入して真空に引く部屋へ流れるようにして軸受側に反応ガスがこないようにするのです。これで絶対に大丈夫かと迫られるとちょっと苦しいですが･･･以前整備で三フッ化窒素を引いていたポンプか返却されたのを見ましたがかなり荒れていました。

お礼

イディオット様
ありがとうございました。
先ずは長期出張にて、お礼が遅れましたことをお詫び申し上げます。
正直に申し上げますと経験としてのお話をして頂ける方も身近には
居られなかったので大変助かります。
程度の問題なのかもしれませんが、いまひとつ得意先様に情報が
信憑性のあるものになっていなかったことが私の苦しみでした。

軸受を守る構造・フッ素ラジカルを漏らさぬ構造を、再度お客様と
協議して行こうと思います。

ありがとうございました。

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