真空度10-9の実現方法

質問

真空での試験を行いたいと思うのですが、真空度が10^-9を要求されています。
このような真空を実現するにはどのような設備が必要なのでしょうか。
また、どのようなメーカに問い合わせればよいかご存じで有れば紹介してください。

回答No.4

noname#230359 · ベストアンサー

まず、真空度10^-9の単位はPaですか？
10^-9（Pa）なら、超高真空という領域です。
真空容器にはガス放出の少ないSUSやアルミ合金製、ICFフランジやメタルシールなど超高真空専用のものを用い、真空ポンプにはターボモレキュラーポンプとイオンゲッターポンプなどを組み合わせます。
真空度の測定も、超高真空用の電離真空計を用いるなど、特別の設備が必要です。
また、真空度をあげていく課程で、容器全体を150℃程度まで暖めて容器内のガス（主に水蒸気）を放出させるベーキングを行ないます。
varianや、日本真空（ULVAC）などのメーカーをWebで検索してみて下さい。

お礼

ありがとうございました。
大変参考になりました。
ところで単位はTorrです。Paですと10-7でしょうか。SI単位はPaですね。失礼しました。
私の希望はPaですと10^-7です。如何でしょうか？

回答No.5

noname#230359

10^-7Torrならば、ICFではなく、標準真空フランジにバイトンＯリングを用い、油拡散ポンプと液体窒素によるトラップを組み合わせることで実現可能でしょう。
もちろん、ベーキングも必要です。バイトンＯリングなら１５０℃のベーキング温度にも十分耐えます。

お礼

ありがとうございました。
大変参考になりました。

回答No.3

noname#230359

装置メーカーに明るいわけではありませんが
真空度が10^-9で510リッターとなると非常に高度な技術を持った
メーカーでないと生産できないと思います。
簡単には見つからないかも知れません。
宇宙関連製品を製作しているメーカーなどを探して
問い合わせてみてはどうでしょうか。

お礼

ありがとうございました。宇宙関係等探してみます。

回答No.2

noname#230359

容積（大きさ）はどれくらい必要ですか？

参考URL：

http://www.ctktv.ne.jp/~s-nomura/public.htm

補足

申し訳ございません。

容量は５１０リッター程度です。
試験内容は気密を取った金属製の箱のリークテストです。

回答No.1

noname#230359

目的、サイズが解りませんが設備としては、真空槽、真空ポンプとその他付属装置ですが
各地の公的試験機関や大学などで借りることも出来ますので
それから検討するのも良いのではないでしょうか。

お礼

ありがとうございました。