スパッタ用ターゲットの作製について

質問

かなり初心者な質問でお恥ずかしいのですが

ターゲットってどのようにして
作製するものなのでしょうか？
某先生より、ターゲットは
２種類の希土類のものを混ぜて作れと
言われたのですが、
情けない話ですが、
この辺の技術について
まったくうといためわかりません。
調べたいのですが
何を調べていいのかもわからない状態です。
どなたか教えてください。
1.混ぜるって、ホントに2つを混ぜればいいのでしょうか？
2.希土類を混ぜ合わせて作った前歴あるのか？
etc.
よろしくお願い致します。
参考になる
論文や本でもいいのでお願いします。

できれば日本語でよろしくお願いします。

回答No.2

noname#230359

スパッタ法を用いて薄膜を作製していたものです。
参考になるか分かりませんが、自分がターゲットを
作ったときには薄膜を作りたい材料（例えば、Ag薄膜ならばAg）の塊をバッキングプレートと呼ばれるプレートに接着用の導電性樹脂などで貼り付けて作っていました。希土類が何か関係しているかはよくわかりません。

回答No.1

noname#230359

こんにちは
すっごく外しているかもしれませんが、
私の職場では、ここから購入しています。
合金のターゲットも作ってくれます。
ゼロから自分で作るのは、たいへんすぎるのでは．．．

参考URL：

http://www1m.mesh.ne.jp/kojundo/

お礼

ご回答感謝いたします。
ありがとうございました。
参考にさせて頂きます。