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高周波電源を用いた100W投入と直流電源を用いた100Wは投入は効率的に同じになるのでしょうか。

家庭用プラグに電源のコンセントを差し込んでプラズマをつくり、太陽電池などの薄膜をつくるとします。よく論文で薄膜Aをつくるのに投入した電力は1000Wというような表現を見ます。 この投入電力というのは電源の電圧と電流をかけたものと理解しているのですが、高周波電源と直流電源でそれぞれ同じ投入電力で同じ質の薄膜Aをつくった場合、両者の薄膜作製効率は同じになるのでしょうか。つまり、家庭の電力計は両者とも同じ使用量を示すのでしょうか。 交流と直流での電力の比較の基本を教えていただけると助かります。

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  • foobar
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回答No.1

電源装置の効率が、直流電源と高周波電源で異なりますので、「投入電力」がどの点で測定した電力かで若干違いが出ます。 電源装置の出力で測定した場合には、装置全体の消費電力は電源の効率で除して算定する必要があります。大抵は、高周波電源の方が電源の効率(出力電力/入力電力)が低いでしょうから、高周波電源の方が消費電力は大きくなるかと思います。 電源装置の入力で測定した場合には、どちらも消費電力は同じになります。この場合、実際に薄膜生成に投入された電力には差が出ますので、「薄膜生成効率」という場合には、その分を考慮する必要があるかもしれません。

phy0
質問者

お礼

ご回答ありがとうございます。よく理解できました。

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