真空度の違いによる影響

質問

結晶成長装置の真空度が異なる２つのチャンバーがあるときに、ゲートをopenすると装置に与える影響が大きいのは(a)、(b)のどちらかという問題で

(a)　　　 成長室 ⇒　10^-9 交換室 ⇒　10^-2
(b) 成長室 ⇒ 10^-6 交換室 ⇒　10^-1

(a)であろうという検討はつくのですが、科学的な根拠が分かりません。教えて下さい。

回答No.1

dekopon211

正しくないかもしれませんが、
私の考えを述べます。

成長室側の状況（温度とか）がわからないので判断しづらいのですが、
「装置への影響」といわれるとｂの方が影響が大きいと思います。
理由は、ｂの方が交換室側からの大気の流入が大きいから。
単位が書いてないですが、
交換室側の圧力が大気圧に近いなら、ゲートバルブが痛みます。