圧力センサの

質問

ロボットなどの圧覚センサについて教えて欲しいのですが。
感圧半導体とはどのようなもので、どのような原理で測定するのか、などをできるだけ詳しく教えてもらえないでしょうか？お願いします。

回答No.1

saikoro · ベストアンサー

歪によって抵抗が変化するピエゾ抵抗効果を利用していると思います。
参考URLは加速度センサの例ですが、加速度から応力を得るか、圧力から応力を得るかの違いだけで原理は同じです。

参考URL：

http://www.mech.chuo-u.ac.jp/lecture/yamauchi/2000/micromachine00_9/

お礼

遅くなって申し訳ありません。いろいろ調べてみたのですが、
抵抗値の変化で…というのがストレンゲージとの区別がつきません。「半導体」では精度が上がるようですが、それだけなのでしょうか？圧力センサとして使用するときに、ストレンゲージをいくつか貼り付けて…というのがありますが、それなら半導体は出てきません。センサの構造の違いなどを教えて頂けないでしょうか？ずうずうしくて申し訳ありません。