DSM（ディープサブミクロン） と DSM LSI について

質問

「ディープサブミクロン（DSM）」と「DSM　LSI」はなにか教えてください。
素人なのでわかりやすく教えてくださるとありがたいです。

回答No.1

rabbit_cat

ＬＳＩに作りこむ配線の幅（フィーチャーサイズ）が、１ミクロンよりもずっと小さいＬＳＩのことをディープサブミクロンＬＳＩといいます。
数年前は、フィーチャーサイズが0.25ミクロンとか、0.13ミクロンとかになって、さかんにディープサブミクロンなんて言葉をつかっていたのですが、
現在の最先端のＬＳＩは、例えばＩｎｔｅｌのペンティアムなんかは、フィーチャーサイズ45nm（0.045ミクロン）まで小さくなってしまいました。ここまで小さくなると、そもそも１ミクロンと比べているディープサブミクロンなんて言葉自体が感覚にあわなくなってきてますね。

ただし、0.25ミクロンとか0.13ミクロンのＬＳＩも、分野によってはまだまだ現役で使われているので、ディープサブミクロンて言葉も使われてます。

お礼

ありがとうございました＾＾
ウェブとかになかったのでとても参考になりました。