クリーンルームの室圧調整

質問

現在クリーンルームの室圧調整を行なっています。
室圧55Paの設定なのですが、
5分おき位の周期で室圧が40～80Paまで変動してしまいます。
風量一定で
扉の開放等はありません。
レリーフダンパもありません。
部屋打ちのSAは固定でRAで自動制御しています。

工期が迫っているのですが、
室圧が変動する原因が検討つきません。
誰かお詳しい方いらっしゃいましたらお願いいたします。
補足事項等の質問受け付けますので、
よろしくお願いいたします。

回答No.1

tateisu · ベストアンサー

お初です
建物の設備屋ではないのですが、
興味ある内容でしたので寄らせて頂きました。

運用中のクリーンルームでしょうか？
目標とする変動範囲はどれくらいでしょうか？
フロアーの広さに対して本当に室圧設備が妥当でしょうか？

５分おきという規則性があるのであれば
何かの制御が絡んでないでしょうか？
　(1)室圧制御は本当に信頼できますか？（ソフト、制御容量）
　(2)生産装置で真空や圧空を大量に使っていませんか？
　(3)生産装置の工程上、(2)が大気開放ではないですか？

本職さんがつまずいている内容を
私に分るとも思えませんが、
何かの足しになれば幸いです。

以上でした

補足

お早いお返事ありがとうございます。

運用中のクリーンルームではなく、
まだ客先引渡し前の段階です。

変動範囲は＋5～－5Paを目標としております。

フロアーの広さに対して妥当な設計風量を満たしております。

規則性があるので私も制御がからんでいると思ったのですが、
MDは正常に動作していて、
同じ制御を採用している違う系統は問題なしです。

(1)室圧制御は本当に信頼できますか？（ソフト、制御容量）
　　ソフトに問題があるかと考えられますが、
　　建物全体の室圧制御が問題ではなく、一つの空調機の
　　一つの系統（正確には３部屋）だけなので、
　　まだなんとも言えない段階です。

　(2)生産装置で真空や圧空を大量に使っていませんか？
　　　真空、圧空を使ってる装置はありません。
　　　なので部屋内の装置の影響は考えにくい状況です。

　(3)生産装置の工程上、(2)が大気開放ではないですか？
　　　大気開放はなくクリーンルーム内は完全な密閉です。
　　　部屋間の開放はありますが、気流制御等、問題ありません。

現状ではマノメーターを見る限り
私もRAのダンパの制御が問題ではないかと思われますが、
他にも原因があるかもしれません。

貴重な回答ありがとうございました。

回答No.2

tateisu

＃１再びです

私が想像するマノメータと違っていたらすみません。

クリーンルームと何処の微差圧を見ているのでしょうか？
クリーンルーム内ではなく、
比較対照である、
外の室圧が変動している事は無いでしょうか？

以上でした