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クライオポンプ効果とは?
クライオポンプ効果について調べているんですが、 ググってもなかなかそれらしき物が出てこず困っています。 どなたかクライオポンプ効果についてご存じの方がいましたら ご教授ください。 よろしくお願いします。
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ゲッター効果[1]じゃないでしょうか。クライオポンプ効果という言い方もあるようですが。どちらも、残留気体分子を吸着する現象を利用しています。クライオポンプやソープションポンプの場合は低温で、ゲッターポンプの場合は活性金属や化合物の吸着作用を利用して残留気体分子を排気します。 低温を利用する方法は、表面を低温にするこよによって、吸着した気体分子の蒸気圧(脱離速度)を下げて、再脱離する確率を非常に小さくすることです。真空装置で残留する気体は水蒸気と不活性原子、水素がほとんどです。これらの飽和蒸気圧の温度依存性を調べれば、温度に対する理論的な到達圧力が分かるはずです(実際には真空装置内部からのガス発生が常時あるのでそれよりは真空度が悪くなりますが)。 [1] ゲッター効果 http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%B2%E3%83%83%E3%82%BF%E3%83%BC%E3%83%9D%E3%83%B3%E3%83%97
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- chiezo2005
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#1です。 でしたら,ご紹介したサイトに詳しい説明があると思います。 気体の蒸気圧が温度とともに下がるという現象を利用して,気体中の分子を凝縮させる技術です。 単純に言えば,冷たいコップの周りに空気中の水分がついているのと同じ原理です。 これがヘリウム温度近くになることにより,空気の成分である窒素や酸素などの蒸気圧が極めて小さくなるため真空の排気に使えることになります。 逆に言うと,液化温度の低い,水素やヘリウム自身に対しては,このような冷却方式ではあまり真空度が良くなりません。
お礼
chiezo200さんご丁寧にありがとうございます。 技術の事なんですね。 助かりました。 ありがとうございます。
- chiezo2005
- ベストアンサー率41% (634/1537)
クライオポンプはわかりますが,クライオポンプ効果という名前のついた効果は聞いたことがありません。 その言葉が出てくる前後の文章をお見せいただけるとなにかわかると思いますが・・・・ http://www.ulvac-cryo.com/about_cp/technical_info/super_t/index.html
補足
前後の文章ですが、 温度が下がるにつれて、真空度が高くなる現象を「クライオポンプ効果」という。これについて調べよ。 となっています。 おわかりになるでしょうか?
お礼
ゲッター効果とも言うんですね。 非常に参考になりました。 ありがとうございます。