拡散ポンプの動作不良について
拡散ポンプの動作不良について質問させていただきます．
まず，現在の状況から説明いたしますと
ロータリーポンプで粗びきしてから拡散ポンプへと切り替えを行った際，
容器内圧力が一気に上がってしまいます．
この状態になった経緯を説明いたしますと，
１．真空にさせたい容器内で水漏れが発生
２．その水が拡散ポンプ及び経路内に侵入した恐れがあるため解体
３．拡散ポンプ内及び経路中の水分を除去
４．拡散ポンプ・ロータリーポンプの油を交換
となっており，ローターリーポンプに関しては油交換直後は
到達真空度に達さなかったものの，運転を繰り返すうちにそれも改善されております．ですのでホース等の経路内に水分は残っていないと考えています．
ですので，拡散ポンプが動いていない原因としてヒーターの不良を考えてみましたが，これも正常に動いているようです．
他の原因としてどのようなことが考えられるでしょうか？
このような真空機器に関してまだまだ素人で説明不足のところがあるかもしれませんが，ご教授の程よろしくお願いいたします．
お礼
なるほど～。よくわかりました。どうもありがとうございます＾＾ すぐに答えてくれたので助かりました。