拡散ポンプのオイルの温度について

質問

拡散ポンプについて2点教えてください。

拡散ポンプのオイルの温度は一般的に何度位で使用する物なのでしょうか？

オイルの寿命の判断は覗き窓からオイルの汚れを見れば良いでしょうか？

拡散ポンプを使用する機械を使い始めたのですが解らない事だらけです。
よろしくお願いいたします。

回答No.3

noname#230359

オイル 信越化学のライオンAで230度くらいです。
明らかに酸化した場合は変色しますが、通常の寿命でも透明なので色で判断出来ません。
400時間運転で一回交換を目安にしてます。

交換は荒引きポンプの条件や加工条件、使用ガスによっても変わります。
チャンバー内、ポンプ内の真空特性を記録して変化があれば寿命を疑います。
通常余裕を持って交換します。
オーバーホール時、ジェットにこびり付いたオイル取るのは大変です。
早めに交換して後の手間を楽にしたほうがいいとおもいます。

100度のコメントがあったので、注意事項を思い出しました。
ポンプ停止時、100度以下になるまであらびき、拡散ポンプOFFから40分くらいだと思います。
バルブを閉じ、ポンプ内を真空に保った状態で冷却水をOFFです。

誤記がありましたので訂正します。
信越化学は真空グリスで使用してました。
ライオンは、歯磨きとかのライオンです。
AとSがありますが、私が量産で使用していたのはSです。
実験で使っていた記憶と混同したのだと思います。
使用温度などはほぼ同じで、到達真空度が違います。
オイルが壁に当たる音？パチパチ音がするのが正常な温度ですが、
ポンプによっては音がしないものもあります。

説明書が無いとのことですが、パッキンの予備とか入手出来ますか？
メタルシールだと使い捨てだと思いますので、手配出来るようにしておいた方がいいです。
町工場で作ってもらうのがお勧めです。

オイルの量くらいはポンプに表示してある？
説明書無しでオイル量がわからず交換出来ないということもあるので注意。

お礼

ありがとうございます。
現在１６０度で使用しているのですが温度が低いのでしょうか？
温度はオイルに依存する物なのか、拡散ポンプに依存する物なのか
が解りませんが、もう少し温度をあげてみます。

回答No.2

noname#230359

油の動作温度：
　参考資料（排気性能データの例）によれば、250℃程度のようです。動作
原理上、油を気化する（蒸発させる）必要があるので、使用する油によって
適正値があると思います。
　（この温度は、ボイラー内の温度です）

油の寿命：
　一般的な資料には、排気速度や到達真空度が低下した場合などに油を交換
するように書いてあります。
　油の劣化は、長時間の使用によって徐々に進行することのほか、異常な動
作で急速に起こることもあります。粗引きが不十分なままで拡散ポンプを
運転したような場合や、劣化を加速するような物質を真空引きした場合など
が該当するようです。異常な動作をさせてしまった後で、排気速度や到達真
空度に低下があれば、油の交換を検討した方がいいと思います。

参考URL：

http://www.showashinku.co.jp/product/dlfiles/ECO22_seinou.pdf

お礼

ありがとうございます。
やはり真空度の低下でしかオイルの寿命は見れないんでしょうか。

回答No.1

noname#230359

わたしの知識はかなり古いので、現在では間違っているかも知れません。

>拡散ポンプのオイルの温度は一般的に何度位で使用する物なのでしょうか？

だいたい使い勝手から常温から100℃くらいが多いと思うけど
オイルの種類によりますので一般的な温度という指標はないです
装置の説明に従いましょう。

>オイルの寿命の判断は覗き窓からオイルの汚れを見れば良いでしょうか？

オイルの色変化がはっきり判るようでは遅いと思います。
薄黄色とか透明じゃなくなった時点で交換してましたが
クリーン度を妥協すればもっと使えるのかもしれません。
これも使用説明書にちゃんと交換時期の判断説明があるはずです。

お礼

ありがとうございます。
100℃ですとオイルが霧化しないと思うのですがどうなんでしょうか？

中国製の機械で説明書などは一切無く、困っています。