ロータリポンプのリーク

質問

ロータリポンプをＯＦＦするときにポンプ内を大気圧に戻します。戻さないとポンプ内部のオイルが真空側に上がってきてしまうからです。
このあがってきてしまう仕組みなのですが、オイルが減圧されている空間に引き込まれてしまうからという解釈でよいでしょうか？でもだとすると動作させている最中はなぜ平気なのでしょうか？

回答No.2

noname#160321 · ベストアンサー

>>オイルが減圧されている空間に引き込まれてしまうからという解釈でよいでしょうか？
その通りです。
まず添付の特許庁のＵＲＬをご覧下さい。
ポンプ本体はオイルの中にドボンと漬けてあります。
次はポンプ本体の作動方法をサンユー電子様のＨＰから頂きました：
http://www.sanyu-electron.co.jp/genri/pump_02.html
回転を止めた後、放って置くとこの回転部のすりあわせを通過して、ガス出口から油がポンプ作動部を満たし、次に真空ラインの方へ満ちてきます。
>>でもだとすると動作させている最中はなぜ平気なのでしょうか？
^^回転しているからです。
油には粘度があり、すりあわせ部分から漏れ込む油の量が回転によって追い出される油の量を下回っていれば回転中には油は戻ってこない「理屈」です。
ですから、油はある程度の粘度が必要で、その粘性のため空回しでもロータリーポンプを動かすにはかなり力が要ります。
なお、最近の同軸型のロータリーポンプではドブ漬けでないので緊急時に安全なものが多いです。
ン十年前も日立製作所様のポンプは油の逆止弁が付いておりました。
ポコポコと可愛い音を立てている「安物」を使うと「泣きを見る」ことになります。本当に安いけど。^^

参考URL：

http://www.jpo.go.jp/shiryou/s_sonota/hyoujun_gijutsu/semicon_vacuum_tech/2_2_1a.htm

お礼

非常に分かりやすい説明、どうもありがとうございました。

ちなみにうちの研究室にはまだ「ポコポコ」音を立てるポンプが何台か残っています。

回答No.1

myeyesonly

こんにちは。
動作中もちゃんと引き込まれてますよ。
それを動力で排出してるだけです。

お礼

ありがとうございました。