リソグラフィ用のレジストはなぜ波長毎に種類があるのですか?
20歳代の会社員です.
仕事に関して,リソグラフィについて興味を持ったので調べているのですが,レジストについて分からない部分がありますので質問させて下さい.
リソグラフィ用に用いるレジストにはフォト用とEB用とがあり,そのフォト用にも幾つかあり(g,i,D-UV,V-UVなど)あることは分かりました.また,リソグラフィの基本的な仕組みとして,光(または電子線)を当てることによってレジストに化学反応(架橋反応や転移など)を起こさせて現像液への溶不溶を変えるということも分かりました.そこで疑問に持ったのは,なぜ波長毎にレジストが存在するのか,ということです.
資料を見ても,レジスト感度の波長依存性を示すデータなどは見当たりません.また,化学反応を生じさせるためならある一定以上のエネルギーを持った(つまりある一定以下の波長の)光を当てればいいような気がします.つまり,g線用のレジストはg線以下の波長のリソグラフィにも用いることができそうに見えるのですが.
相当初心者的な質問だろうとは思いますが,教えてください.よろしくお願いします.