コンバージョンファクター

質問

液晶装置会社の請負社員をやってます。
水素用のマスフローコントローラから窒素を流して
仮テスト（ガス流量確認）をするのですが、仕様にはコンバージョンファクターを確認とあります。ガスの換算率の事らしいのは分かったのですが、資料もなく換算方法が分かりません。窒素流量→水素に換算する
方法を知っている方、教えて頂きたいです。

回答No.2

janj · ベストアンサー

コンバージョンファクター表（CF表）は下記の通りです（英文）。
通常、窒素のＣＦを１としています。
http://www.mksinst.com/GasConversionTable.html

換算法ですが・・・上記HPのFAQに計算例が記述されておりますが、例えば、アルゴンガスで校正された最大流量100sccmのマスフローコントローラー（MFC）を用いて炭酸ガスを流した場合、実際の流量は下記のようになります。

（炭酸ガスのＣＦ÷アルゴンのＣＦ）×設定流量(sccm) ＝実際の流量(sccm)

（０．７÷１．３９）×５０(sccm)＝約２５(sccm)

質問のケースですが、窒素と水素のＣＦはそれぞれ、１と１．０１ですのでほぼ同じです。従いまして事実上、換算の必要はありません。ただし、別の回答者の方のように、換算や設定だけでは対応できない場合もあるようなので、MFCのメーカーに問い合わせた方が無難です。

これまで私は、CFの表を元に自分で換算するタイプの機種と、MFC用電源装置側で、ガス種に対応するCFの値を設定すると自動的に換算してくれる機種の２機種を使用したことがあります。後者ですとわざわざ換算する必要がありません。

参考URL：

http://www.mksinst.com/GasConversionTable.html

お礼

回答ありがとうございました。大変参考になりました。今後とも宜しく御願い致します。

回答No.1

kei533

マスフローコントローラはガスの物性値(比熱、密度）でセンサーの感度が異なります。窒素ガスの測定値を水素に補正するときの係数がコンバージョンファクター(あるいは補正係数、CF)になりますが、水素と窒素では物性値が大きく異なりCFは大きすぎ、通常は同一のセンサーでは測定できないようです。取り付けられているマスフローコントローラがそれらをカバーしているかも知れませんので、メーカがどこか現物を調べ、直接問い合わせるべきでしょう。

http://www.compoclub.com/support/faq/faq_mf.html#15

参考URL：

http://www.mr-techno.co.jp/heliumgass-meter.htm

お礼

回答ありがとうございます。大変参考になりました。
メーカに問い合わせしてみます。今後も宜しく御願い致します。