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結像レンズの倍率と解像度の関係

マスクパターンの縮小転写を行うときの、結像レンズの性能についての質問です。 結像レンズの倍率Xと解像力Rの関係があるか教えていただけないでしょうか。 具体的には倍率3倍のレンズでNA0.5程度が達成できるかを知りたいです。

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  • 2SB110
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回答No.1

倍率とNAは直接の関係はないのではないでしょうか。(商品ラインナップ上は関係あるでしょうが・・) 顕微鏡の対物レンズなんて、高倍率でNA0.95なんて言うものもあります。 顕微鏡は逆に見ると超高解像度縮小結像系ですから大いにヒントになります。

masics
質問者

お礼

ご回答ありがとうございます。 下記URLにNAに対する倍率の制限が載っていました。 高倍率のほうの制限があることは、解像限界もあるため、なんとなくわかりますが、下限がなぜあるのかが不思議です。 https://www.olympus-lifescience.com/ja/support/learn/02/035/ 勉強不足なので、顕微鏡の勉強からしっかりしてみようと思います。

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