ガス濃度について

質問

こんにちは。私は排ガス処理装置等の機械設計をメインの仕事としています。化学関係の知識はほぼゼロに等しい状態です。

　今回、排ガスの除害効率実験を担当する事になり、判らない事が有りますが、社内の先輩方に聞き難い事がありまして、投稿させていただきます。
　HFを高濃度で通気させた時の除害性能を知りたいと顧客から要望があったので、性能を測る為の実験をする次第なのですが、社内の実験室ではそのガスを取扱う事ができない為、HClで実験し、その結果を「HClではこういう結果が出たので、HFのこの濃度ではこのぐらいの除害性能と考えられます」とお客様に報告するという事です。

　この中で判らないのが、ガスの濃度に関する事です。お客様の要求したHFのガス濃度値での実験をHClで行う場合は、同じ濃度値で行うのでしょうか？
（例：お客様要求→HF入口濃度100ppm　実験時→HCl入口濃度100ppm）
　はたまた、何か計算式等で換算し、換算した濃度で行うのでしょうか？
（例：お客様要求→HF入口濃度100ppm　実験時→HCl入口濃度≠100ppm）
　後者の場合、計算式等も一緒に教えてもらえれば幸いです。
　どうか、宜しくお願いします。

回答No.1

noname#230359

半導体のドライエッチング装置等の排ガス処理装置みたいですね。
専門家でありませんが、遠からず装置等に関係していましたが、具体的なアドバイスは
契約もあり控えます。
一番良いのは、可愛げのある聞き方で先輩や上司に聞く事です。（化け学専任の先輩等に）
でも、判っていないようであれば、前述の記述内容でネット検索し、専門メーカーに確認
するとよいでしょう。（殆ど教えてくれませんが）
又は、大学教授に。

ＨＦは水で薄めたり、水に吸収させたりする方法がよいと、薬品取扱の対処方に記述されて
いますが、それだけなら案外簡単かも。