コロイダルシリカ溶液とCMPスラリー廃液の分離について

2010/07/13 10:13

このQ&Aのポイント

コロイダルシリカ溶液とCMPスラリー廃液の分離について、商業化の可能性や開発の意義について考えます。
コロイダルシリカ溶液とCMPスラリー廃液の分離は、通常の遠心分離や希釈無しでは困難な課題です。
ハイテク産業である半導体関係以外の業種でも、コロイダルシリカ溶液とCMPスラリー廃液の分離技術に関心がある企業が存在します。

noname#230358

その他（電子・半導体・化学）
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noname#230359

2010/07/14 00:00 回答No.1

コストパフォーマンスです。単に、コストだけと、最近は環境コストを含めた場合もあります。使用液のライフタイムが10倍に延びたので、薬液コストが1/10までいかなくても2/10(1/5) になった。そのメリットは年間数千万円～数億円で、完成品の品質的には問題ない。又は、廃液処理のコストも含めて前述のメリット計算はするのですが、廃液処理にかかる CO2量と商材薬品生産にかかるCO2量の差で環境コストが…とかです。頑張って下さいな！！！