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クリーンルームの塵対策について
- クリーンルームでの塵対策とは？皆さんの取り組みは？
- クリーンルームの塵対策で歩留まり低下の課題。
- クリーンルームの塵対策のベストプラクティスは？
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塵付着の内容と塵自体の分析で、何が原因か判ります。 多分、幾つかの要因の相互作用でしょう。 一つ一つ、消し込みしていく事が大切です。
（２）の方がおっしゃるように「人」が汚染源としては多いと思います。しかも不確定要素をはらんでいます。 対策としては教育に尽きます。入室前の手洗い、服装のチェック（鏡をおいてます）、各部屋の入室人数制限、クリーンウエア下の服装の規制（ハイネック禁止）などなどあるかと思います。化粧なども規制する必要があるかもしれませんね。 半導体工場では喫煙後1時間クリーンルーム入室禁止などというのを聞いたことがあります。 ご参考になれば幸いです。
お礼
教育は定期的にされています。 喫煙対策はしていませんですた。 ありがとうございます。
製品がどのような物か判らないのですが、静電気を帯びやすい物ならイオナイザーで除電してやるという方法もあります。また、室内の湿度を60%程度に保つと静電気の発生が少なくなります。 洗浄工程で使用する純水は比抵抗が少ないので、製品に静電気が発生しやすいため、純水に極少量の物質を添加して導電性を上げると言うことも良く使われる手段です。
お礼
除電バーは多数設置しています。 純粋の導電性を上げるというのは興味深いですね。 検討して見ます。
クラスいくつくらいのクリーンルームですか？ 対策もそれによって変わると思うのですが。 ”人”が一番の汚染源ですけど。。
お礼
やはり人ですね。 シャットダウン後に決まって歩留まりが悪くなるのはどうしてですかね？
質問の内容を観ると、対策が漠然としています。 製品に塵が付く確率高く、歩留まりが低下している分析は当然できていますよね。 ****の塵付着なら、+++工程～###工程での要因とかで。 また、その工程を構成する機器の中で、 ＊ 塵を発塵させない設計か ＊ 塵を発塵させても、カバー等があり、その外部に飛散させない構造か <バキューム等を使用して、カバー内部を陰圧にして、飛散防止する> ＊ クリーンルームでは、微小塵飛散防止目的で、ダウンフローを用いますが、 製品を加工・組立する工程は、ミニエンバイロメント（局部清浄空間）を 作り、クリーン度を更に上げる工夫をします。<一般的です> 製品の搬送は、クリーンBOXや、クリーントンネルを使用して、塵が付着する のを防止しますか。 ＊ クリーンルームでは、微小塵飛散防止目的で、ダウンフローを用いますので、 発塵する機候は、製品より上に配置しないか <作業者を含めて> 等々です。
お礼
具体的なアドバイスに感謝します。
お礼
回答に感謝します。