圧縮空気の温調

質問

初めて利用させて頂きます。
新規生産設備の導入を予定していて、その装置の必要揚力の圧縮空気が、必要スペック100 l/min, 9bar,温度安定性±0.1℃になっています。今、温度調整の点で困っています。工場のコンプレッサーは温度管理をしておらず、現状の温度幅もデータがありません。使用温度は23.0℃になるのですがこれが22.9～23.1℃に制御できる設備を探しています。（クリーンルーム内の装置で、クリーンルーム室内温度も23.0℃設定です。）探した限りではオリオン社製のナノサーモが使えそうではあるのですが使用圧力が高いため、若干の不安があります。
使えそうな設備や同様のライン例をご存知でしたら教えて頂けませんでしょうか。

回答No.2

noname#230359

間接温調（恒温）に、発想を変えたら如何でしょうか？

温度安定性±0.1℃は、難しい？？です。

半導体や恒温室の空調を参考にしてみては、如何でしょうか？

お礼

回答ありがとうございます。
半導体製造装置で同様の設備があるのでしょうか。何か実例があればよいのですが。。

回答No.1

noname#230359

オリオンのを使うこと自体は悪くない選択ですが、中に仕込まれているメンブレンエアドライヤの耐圧が 9barなかったと記憶しています。メーカーに確認必要ですね。運が良ければ他社製のフィルタを組み入れてくれるかもしれません。昔はCKDとかやっていたんだけど最近はないですね。

そうそう、部屋内にレシーバタンク（200～500L）を設置して、温度馴化させとくと温調精度のばらつきも減りますよ。チトお高くなりますが。。。

低露点のドライエアが必要なければ『中のドライヤユニットを外してくれ』という交渉は簡単にできます。コンプレッサのメインラインでドライヤが入っていることが大前提です。

お礼

回答ありがとうございます。
圧力は確認します。露点は-40℃必要なのでドライヤユニットは付けようと思います。自社でオリオンの使用実績が無い為、複数の候補からできれば選択検討したいと思っています。他に実例をご存知であれば伺えないでしょうか。